濺射靶材

陶瓷靶材 合金靶材 金屬單質靶材


濺射靶材的要求較傳統材料行業高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項雜質含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與組織均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導磁率、超高密度與超細晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統把電子發射並聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片澱積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬,合金、氧化物及其它化合物等

濺射靶材主要應用于電子及信息産業,如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應用于玻璃鍍膜領域;還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業。


Goodwill提供各種不同規格的濺射靶材(平面靶、多弧靶、旋轉靶及其它異形靶材),純度3N~5N,尺寸和成份比例均可按客戶要求定制。推薦靶材